真空的定义

真空系统指(zhi)低(di)于该(gai)地区(qu)大气压的稀(xi)簿气体状(zhuang)态(tai)

真空度

处于(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)状态下的气体稀(xi)簿程度(du)(du)，通常用“真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)(du)高(gao)”和(he)“真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)(du)低(di)”来(lai)表示。真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)(du)高(gao)表示真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)(du)“好(hao)”的意思，真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)(du)低(di)表示真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)(du)“差”的意思。

真空度单位

通常用托（Torr）为单(dan)位，国(guo)际(ji)上取用帕（Pa）作为单(dan)位。

1托=1/760大气(qi)压=1毫米汞柱

托与帕的转换

1托=133.322帕(pa)　或　1帕(pa)=7.5×10-3托

平均自由程

作(zuo)无规则热运动的气体粒子，相继两次碰(peng)撞(zhuang)所飞越的平均距离，用(yong)符号(hao)“λ”表示。

流量

单(dan)位(wei)时间流过任(ren)意截面的气体量，符号用“Q”表示(shi)，单(dan)位(wei)为帕·升(sheng)/秒（Pa·L/s）或(huo)托(tuo)·升(sheng)/秒（Torr·L/s）。

流导

表(biao)示真空管道通过气体的(de)能(neng)力。单位(wei)为升(sheng)/秒（L/s），在稳定状态下，管道流(liu)导等于管道流(liu)量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2- P1)

压力或压强

气体分(fen)子(zi)作用于容(rong)器壁的单(dan)位面(mian)积(ji)上(shang)的力，用“P”表示。

标准大气压

压强为(wei)每平方厘(li)米101325达(da)因的(de)气压，符号：（Atm）。

极限真空

真(zhen)空(kong)容器(qi)经(jing)充分抽气(qi)(qi)后，稳(wen)定(ding)在某一(yi)真(zhen)空(kong)度(du)，此真(zhen)空(kong)度(du)称(cheng)为极限真(zhen)空(kong)。通常真(zhen)空(kong)容器(qi)须经(jing)12小时炼气(qi)(qi)，再经(jing)12小时抽真(zhen)空(kong)，最后一(yi)个小时每隔10分钟测量一(yi)次(ci)，取其10次(ci)的平(ping)均值为极限真(zhen)空(kong)值。

抽气速率

在一定(ding)的压强和温度下(xia)，单位(wei)时间内(nei)由泵(beng)进气(qi)(qi)口处抽(chou)走(zou)的气(qi)(qi)体称为抽(chou)气(qi)(qi)速(su)率，简(jian)称抽(chou)速(su)。即(ji)Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷挡板）

置于真空(kong)容器(qi)和泵之间，用(yong)于吸附气体或捕集油蒸汽的装(zhuang)置。

气镇阀

油封机械真空泵的压(ya)缩(suo)室上开一小孔，并装(zhuang)上调节阀(fa)，当打开阀(fa)并调节入(ru)气量，转(zhuan)子转(zhuan)到某(mou)一位置，空气就通过(guo)此(ci)孔掺入(ru)压(ya)缩(suo)室以降低压(ya)缩(suo)比(bi)，从而(er)(er)使(shi)大部(bu)分蒸汽不(bu)致凝结(jie)而(er)(er)和掺入(ru)的气体一起被排除泵外起此(ci)作用的阀(fa)门称(cheng)为气镇阀(fa)。

真空冷冻干燥

真空(kong)冷冻干(gan)(gan)燥(zao)，也称(cheng)升(sheng)华干(gan)(gan)燥(zao)。其原理是(shi)将材料冷冻，使(shi)其含有的水份(fen)变(bian)成(cheng)冰(bing)块，然(ran)后(hou)在(zai)真空(kong)下(xia)使(shi)冰(bing)升(sheng)华而达到(dao)干(gan)(gan)燥(zao)目的。

真空蒸镀

在真空(kong)环(huan)境中，将(jiang)材(cai)料加热并镀到基片上称(cheng)为真空(kong)蒸镀，或叫真空(kong)镀膜(mo)。

真空干燥

利用真空环境下沸(fei)点低(di)的(de)特点来干燥物(wu)品的(de)方法。

真空系统常用名称

①主泵(beng)：在(zai)真(zhen)(zhen)空(kong)系统中，用(yong)于获得所(suo)需要(yao)(yao)真(zhen)(zhen)空(kong)度来满(man)足特定工(gong)艺要(yao)(yao)求的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)，如真(zhen)(zhen)空(kong)镀膜机中的(de)油扩散泵(beng)就是(shi)主泵(beng)。

②前(qian)(qian)级(ji)泵(beng)：用于(yu)维持某一真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)前(qian)(qian)级(ji)压(ya)强(qiang)低于(yu)其临界前(qian)(qian)级(ji)压(ya)强(qiang)的真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)。如罗茨(ci)泵(beng)前(qian)(qian)配置的旋片(pian)或滑阀泵(beng)就是前(qian)(qian)级(ji)泵(beng)。

③粗(cu)抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力(li)抽到另一真(zhen)空泵开始工(gong)作的真(zhen)空泵。如真(zhen)空镀膜(mo)机中的滑阀(fa)泵，就(jiu)是粗(cu)油泵。