近年来，发现用机械真空泵和扩散泵抽气的真空系统，由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中，使许多电子器件的性能和技术指标受到严重影响。例如，电子管的氧化物阴极，因油蒸汽而降低其发射性能和寿命，各种大功率高电压电子管，因油蒸汽的存在而容易电击穿;广播电台用的耐高压真空电容，因泊蒸汽的存在而显著降低其耐压指标，油蒸汽在许多地方，产生显著的不利影响。因此，用于这些方面的真空系统，要求改用无油真空系统来代替，即不使用用真空油密封和用真空油作工作液的抽气工具(如机械泵、扩散泵)，而采用靠对气体分子吸附作用，降低容器内压强的吸附泵和钦泵来获得所需的真空。

吸(xi)附泵是(shi)利(li)用某些固体(ti)物质的多孔性表面(mian)，在冷状态下对气体(ti)的强烈吸(xi)附作用，而(er)使(shi)封闭系(xi)(xi)统获(huo)得(de)10-2毫米水银柱的低真(zhen)空的，它是(shi)用作无油系(xi)(xi)统的前级。

吸附泵所用的吸附物质，一般除可用活性碳外，大多使用分子筛(人造沸石)来吸附气体，获得真空。因为，当用液氮冷却后，每一公斤的分子筛，能把50-100升的容器从大气抽成10-2毫米水银柱的真空，所以，它是一种吸气泛很大的泵，而它在经过400℃左右的烘烤后，其所吸的气体就又重新放出(叫做活化或再生)，恢复再吸气的能力。目前常用的5A分子筛(吸收容量大，适合排空气，但需经常“活化，，其平均孔径约为5埃)和13X分子筛(其吸附容且虽比5A分子筛小，但能吸收油蒸汽分子)。