在真(zhen)(zhen)空(kong)技(ji)术应用(yong)中(zhong)，电(dian)真(zhen)(zhen)空(kong)器件(jian)(jian)包(bao)含的内容(rong)比较广泛(fan)。除气也是(shi)(shi)是(shi)(shi)电(dian)真(zhen)(zhen)空(kong)器件(jian)(jian)制造过程(cheng)中(zhong)关键工(gong)序之一。那如果除气不(bu)彻(che)底对电(dian)真(zhen)(zhen)空(kong)器件(jian)(jian)的性能会(hui)有(you)什么影响(xiang)呢，螺杆真(zhen)(zhen)空(kong)泵厂家与大家一起来了解下。

    电(dian)(dian)子真(zhen)空(kong)(kong)工业涉及(ji)(ji)(ji)的(de)电(dian)(dian)真(zhen)空(kong)(kong)器件主(zhu)要(yao)有各(ge)种电(dian)(dian)子管(guan)(guan)、离子管(guan)(guan)、电(dian)(dian)子束(shu)管(guan)(guan)、电(dian)(dian)光(guang)(guang)(guang)源管(guan)(guan)以(yi)及(ji)(ji)(ji)中(zhong)(zhong)子管(guan)(guan)、电(dian)(dian)子衍射(she)仪、电(dian)(dian)子显微镜(jing)、X光(guang)(guang)(guang)显微镜(jing)等，此(ci)外(wai)还涉及(ji)(ji)(ji)各(ge)种粒子加速(su)器、质谱仪、核辐射(she)谱仪、气(qi)体激光(guang)(guang)(guang)器等等。另(ling)外(wai)像利用真(zhen)空(kong)(kong)中(zhong)(zhong)的(de)电(dian)(dian)子束(shu)进行除气(qi)、熔(rong)(rong)炼、提纯、难熔(rong)(rong)金(jin)属介(jie)质的(de)熔(rong)(rong)化和钻孔以(yi)及(ji)(ji)(ji)焊接、放射(she)性同位(wei)素的(de)蒸(zheng)发等这(zhei)些方面也涉及(ji)(ji)(ji)电(dian)(dian)真(zhen)空(kong)(kong)器件。

    电真空器件(jian)工作时本(ben)身(shen)是一个较为复杂的(de)物理(li)-化学系统(tong)，在它里面可能同时进行着(zhe)许多物理(li)、化学过(guo)(guo)程(cheng)，像(xiang)吸附(fu)和脱附(fu)、扩散与迁移、化合与分解(jie)等(deng)等(deng)，这(zhei)些过(guo)(guo)程(cheng)的(de)进行方式与程(cheng)度和除气结果(guo)关系很大。如果(guo)除气不彻底(di)，对器件(jian)性能的(de)影(ying)响主(zhu)要涉及下(xia)述几个方面：

    首先是(shi)如果除气不(bu)彻底，那残余的(de)气体中(zhong)的(de)一些成分可能会与电(dian)真空器件中(zhong)阴(yin)极发生有(you)害(hai)的(de)化学(xue)反应，损害(hai)阴(yin)极的(de)发射能力。

    其次是电(dian)(dian)(dian)真空器件若除气(qi)不(bu)彻底，使(shi)(shi)用中残(can)余气(qi)体电(dian)(dian)(dian)离形(xing)成(cheng)大量的正离子(zi)使(shi)(shi)空间的电(dian)(dian)(dian)子(zi)电(dian)(dian)(dian)荷部分中和，造成(cheng)电(dian)(dian)(dian)位(wei)分布(bu)畸变(bian)，影响(xiang)电(dian)(dian)(dian)真空器件器件的特性(xing)。如使(shi)(shi)栅流增高、噪声增大等(deng)(deng)。另外正离子(zi)在电(dian)(dian)(dian)场的作用下飞(fei)向(xiang)低电(dian)(dian)(dian)位(wei)电(dian)(dian)(dian)极（特别是阴极），使(shi)(shi)电(dian)(dian)(dian)极表面产生溅(jian)射，溅(jian)射物又沉积到(dao)其他(ta)电(dian)(dian)(dian)极和绝缘体上，可能引起漏电(dian)(dian)(dian)、打火(huo)、二次发射等(deng)(deng)现(xian)象。

    第三(san)就(jiu)是残余气(qi)(qi)体会加快(kuai)电真空器件内(nei)的物(wu)质迁移过(guo)程(cheng)。具体的，有实验表明如电真空器件内(nei)含侵蚀性气(qi)(qi)体（SO2、Cl2、O2等）且由(you)他里较高时(shi)，一些金(jin)属(shu)（如Cu）在(zai)低温下(xia)会迅速(su)蒸发。

    为避(bi)免上(shang)述(shu)情况(kuang)的(de)(de)出现，电真空(kong)器(qi)件在除气过(guo)程中(zhong)还(hai)要综合考虑器(qi)件材料(liao)的(de)(de)理化与(yu)真空(kong)性(xing)能，以(yi)及真空(kong)中(zhong)的(de)(de)物质迁移过(guo)程，阴(yin)极(ji)、消气剂与(yu)各种气体的(de)(de)相互作用(yong)，另外还(hai)需要正确选择与(yu)使(shi)用(yong)真空(kong)排气系统。

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