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无油式真空泵

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真空镀膜机怎么选配真空泵?

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真空镀膜机怎么选配真空泵?

发布日期:2021-09-05 00:00 来源://images.artbloger.com 点击:

对真空(kong)(kong)电(dian)镀机器设备来讲,真空(kong)(kong)泵是(shi)其得到(dao)真空(kong)(kong)不可以缺(que)乏的一(yi)个构成部分,生(sheng)产商(shang)每生(sheng)产制(zhi)造一(yi)台真空(kong)(kong)电(dian)镀机器设备均配(pei)搭一(yi)种或多种多样(yang)真空(kong)(kong)泵。

真(zhen)空镀膜机怎样型号选择(ze)采用真(zhen)空泵时(shi),必须留(liu)意以(yi)下事宜:

1、真空泵的(de)工(gong)作(zuo)压强应当考虑真空技(ji)术的(de)極(ji)限真空泵及工(gong)作(zuo)压强规定。

如:真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)镀(du)膜机规定1x10-5毫米Hg的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度,采用的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度最少要5x10-6毫米Hg.真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)镀(du)膜机针(zhen)对真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度的(de)(de)極限(xian)规定和工作压(ya)力(li)强度规定越来越大,对真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)包(bao)装(zhuang)工作能力(li)规定就越高,一(yi)般选择泵(beng)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度要高过真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)技术(shu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度一(yi)个半到一(yi)个量级。

2、恰当地(di)选择真空泵的工作压力(li)。

当(dang)泵(beng)必须的(de)(de)空(kong)(kong)气压(ya)力不(bu)太高(gao)或(huo)(huo)需(xu)要的(de)(de)真空(kong)(kong)度(du)不(bu)太高(gao)的(de)(de)情况下(xia),可优先选(xuan)择(ze)在(zai)单(dan)(dan)极泵(beng)中(zhong)开展(zhan)选(xuan)择(ze),渡(du)过排气管工作压(ya)力或(huo)(huo)真空(kong)(kong)度(du)的(de)(de)规定较(jiao)为高(gao),单(dan)(dan)极泵(beng)通常不(bu)能符(fu)合要求,能够选(xuan)择(ze)应(ying)用二级(ji)泵(beng)或(huo)(huo)是(shi)多级(ji)离心(xin)泵(beng)。

如(ru):扩散泵(beng)(beng)为(wei)10-3~10-7mmHg,在(zai)那样宽压强(qiang)(qiang)范畴内,泵(beng)(beng)的泵(beng)(beng)效(xiao)随压强(qiang)(qiang)而转变,其平(ping)稳的工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)压强(qiang)(qiang)范畴为(wei)5*10-4~5x10-6毫(hao)(hao)米Hg。因(yin)此,泵(beng)(beng)的工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)点应当选在(zai)这个范畴以内,而不可以让(rang)它在(zai)10-8毫(hao)(hao)米Hg下长期性工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)。又如(ru)钛(tai)提升泵(beng)(beng)能够在(zai)10-3mmHg下工(gong)(gong)作(zuo)(zuo),但其工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)压强(qiang)(qiang)应低于1x10-5毫(hao)(hao)米Hg为(wei)好。

3、真(zhen)空泵(beng)在其(qi)工(gong)(gong)作(zuo)压强下,应(ying)能(neng)排出去真(zhen)空技术加(jia)工(gong)(gong)工(gong)(gong)艺全(quan)过程中(zhong)造成(cheng)的所有汽体量(liang)。

4、恰(qia)当地(di)组(zu)成真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。因为(wei)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)有(you)选择性抽(chou)真(zhen)空(kong)(kong),因此(ci),有(you)时候采用一-种泵(beng)(beng)不可以(yi)考虑(lv)抽(chou)真(zhen)空(kong)(kong)规(gui)定(ding),必须几类(lei)泵(beng)(beng)组(zu)成起(qi)來(lai),相互(hu)之间填补才可以(yi)考虑(lv)抽(chou)真(zhen)空(kong)(kong)规(gui)定(ding)。如钛提升泵(beng)(beng)对氢有(you)很高的(de)(de)(de)(de)泵(beng)(beng)效,但(dan)不可以(yi)抽(chou)氦,而三极型磁(ci)控溅射离子泵(beng)(beng),(或(huo)二极型非对称加密负极磁(ci)控溅射离子泵(beng)(beng))对氩有(you)一定(ding)的(de)(de)(de)(de)泵(beng)(beng)效,二者(zhe)组(zu)成起(qi)來(lai),便会(hui)使真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)设备获得不错的(de)(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)度。此(ci)外,有(you)的(de)(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)不可以(yi)在(zai)大气压(ya)力(li)下工作,必须预真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng):有(you)的(de)(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)出(chu)入(ru)口压(ya)强小于大气压(ya)力(li),必须前面泵(beng)(beng),故都(dou)必须把泵(beng)(beng)组(zu)成起(qi)來(lai)应(ying)用。

5、真(zhen)空镀膜机(ji)对油(you)(you)环境(jing)污(wu)染(ran)的规定(ding)。若机(ji)器(qi)设备严(yan)格(ge)管理(li)隔膜真(zhen)空泵时,应当选(xuan)各种各样无汽(qi)油(you)(you)泵,如(ru):干泵、碳分子(zi)筛吸咐泵、磁控溅射离(li)子(zi)泵低温泵等。假(jia)如(ru)规定(ding)不严(yan)苛,能够选(xuan)择(ze)有汽(qi)油(you)(you)泵,再加一些抗油(you)(you)环境(jing)污(wu)染(ran)对策,亦或(huo)者冷阱、障板、挡(dang)油(you)(you)阱等,也可以(yi)做到清理(li)真(zhen)空泵规定(ding)。

6、掌(zhang)握被抽汽(qi)(qi)体(ti)成份(fen),汽(qi)(qi)体(ti)中含(han)没有(you)可凝蒸汽(qi)(qi),有(you)没有(you)颗(ke)(ke)粒(li)物(wu)尘(chen)土(tu),有(you)没有(you)腐(fu)蚀等。选择真空泵时,必须了(le)解汽(qi)(qi)体(ti)成份(fen),对于(yu)被抽汽(qi)(qi)体(ti)选择相对的泵。假如汽(qi)(qi)体(ti)中带有(you)蒸汽(qi)(qi)、颗(ke)(ke)粒(li)物(wu)、及腐(fu)蚀汽(qi)(qi)体(ti),应当(dang)考虑到在泵的进风口管道上安裝輔(fu)助机(ji)器(qi)(qi)设备(bei),如冷却器(qi)(qi)、除尘(chen)设备(bei)等。

7、真空泵(beng)排出去的(de)油(you)蒸(zheng)汽对(dui)自(zi)然(ran)环境(jing)的(de)危(wei)害怎样。假如自(zi)然(ran)环境(jing)不(bu)允许(xu)有环境(jing)污染,能(neng)够选无油(you)真空泵(beng),或是把(ba)油(you)蒸(zheng)汽排到户外。

8、真空泵(beng)(beng)工(gong)(gong)作时(shi)造成的震动对加工(gong)(gong)工(gong)(gong)艺全过程及自然环境有没有危害。若加工(gong)(gong)工(gong)(gong)艺全过程不允许,应选择无震动的泵(beng)(beng)或是采(cai)用防震动对策。

9、真(zhen)空(kong)泵的(de)价钱、运行(xing)及检修(xiu)花费也是大家考虑到的(de)关键之一。



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