1、真空设备部件材质的要求。

如酸碱气(qi)体需要(yao)有(you)对(dui)应(ying)的(de)防(fang)腐涂层(ceng)或泵的(de)材质改用不(bu)锈钢防(fang)腐蚀；带有(you)灰(hui)尘或颗粒的(de)气(qi)体时(shi)，要(yao)在泵入口前加除尘器(qi)、过滤器(qi)或泵本(ben)身对(dui)其有(you)耐受性等等。若(ruo)设(she)备严(yan)格要(yao)求(qiu)无油(you)时(shi)，应(ying)该(gai)选各种(zhong)无油(you)泵，若(ruo)要(yao)求(qiu)不(bu)严(yan)格，可以选择有(you)油(you)泵，并且加上一些(xie)防(fang)油(you)污(wu)染措施，如加冷阱、障板、挡油(you)阱等，也能达到清洁(jie)真空要(yao)求(qiu)。

真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度计算方式： 真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度=大气(qi)压(ya)(ya)(ya)强-绝(jue)对压(ya)(ya)(ya)强(大气(qi)压(ya)(ya)(ya)强一般取101325Pa，水环(huan)式真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵极限绝(jue)对压(ya)(ya)(ya)强3300Pa；旋片(pian)式真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵极限绝(jue)对压(ya)(ya)(ya)强约(yue)10Pa)

机械手无油真空泵

2、抽(chou)气(qi)(qi)量(liang)：抽(chou)气(qi)(qi)量(liang)是(shi)真空泵抽(chou)速(su)的(de)一(yi)(yi)个衡量(liang)因素。一(yi)(yi)般单(dan)位用(yong)L/S和m/h来表示。是(shi)弥补(bu)漏(lou)气(qi)(qi)率的(de)参数。

真空(kong)(kong)泵(beng)的要(yao)能够保证(zheng)抽(chou)出工艺过程(cheng)中(zhong)(zhong)的气(qi)(qi)(qi)体，真空(kong)(kong)泵(beng)选(xuan)型也要(yao)保证(zheng)真空(kong)(kong)泵(beng)的适用性，就需(xu)要(yao)了解气(qi)(qi)(qi)体中(zhong)(zhong)是(shi)(shi)(shi)否(fou)含有(you)(you)(you)可(ke)凝(ning)气(qi)(qi)(qi)体、是(shi)(shi)(shi)否(fou)含有(you)(you)(you)粉尘(chen)颗粒(li)、是(shi)(shi)(shi)否(fou)具有(you)(you)(you)腐(fu)蚀性、易燃易爆(bao)(bao)等(deng)；如(ru)果气(qi)(qi)(qi)体中(zhong)(zhong)含有(you)(you)(you)可(ke)凝(ning)性气(qi)(qi)(qi)体和颗粒(li)尘(chen)埃，应(ying)(ying)该考虑在泵(beng)的进气(qi)(qi)(qi)口管(guan)路(lu)上(shang)安装(zhuang)如(ru)冷(leng)凝(ning)器、除尘(chen)器等(deng)辅助装(zhuang)置；如(ru)果抽(chou)取气(qi)(qi)(qi)体含有(you)(you)(you)腐(fu)蚀性，则(ze)(ze)须(xu)选(xuan)用可(ke)靠材质；若抽(chou)取的气(qi)(qi)(qi)体具有(you)(you)(you)爆(bao)(bao)炸性，则(ze)(ze)应(ying)(ying)该选(xuan)择(ze)水(shui)环式(shi)真空(kong)(kong)泵(beng)，配(pei)备防(fang)爆(bao)(bao)电机，水(shui)环式(shi)真空(kong)(kong)泵(beng)在工作过程(cheng)中(zhong)(zhong)是(shi)(shi)(shi)等(deng)温(wen)的。

3、极限相(xiang)(xiang)对压强(qiang)(qiang)：相(xiang)(xiang)对压强(qiang)(qiang)即所测内(nei)部(bu)压强(qiang)(qiang)比“大气(qi)压”低(di)(di)多少(shao)压强(qiang)(qiang)。表示出(chu)系统压强(qiang)(qiang)实际(ji)数值低(di)(di)于(yu)大气(qi)压强(qiang)(qiang)的数值。由于(yu)容器(qi)内(nei)部(bu)空气(qi)被(bei)抽(chou)，因(yin)此，内(nei)部(bu)的压强(qiang)(qiang)始终低(di)(di)于(yu)容器(qi)外部(bu)压强(qiang)(qiang)。

当用相(xiang)对压(ya)强或(huo)者表(biao)(biao)压(ya)强表(biao)(biao)示的时候(hou)，数(shu)值前面(mian)必(bi)须带负(fu)号，表(biao)(biao)示容器内部压(ya)强比外部压(ya)强低。

4、真空(kong)度：处于真空(kong)状态下的(de)气体稀簿(bu)程(cheng)度，通(tong)常用真空(kong)度表(biao)示(shi)。从真空(kong)表(biao)所(suo)读得(de)的(de)数(shu)值(zhi)(zhi)称(cheng)(cheng)真空(kong)度。真空(kong)泵(beng)选型时的(de)极(ji)限真空(kong)度是泵(beng)抽速为(wei)(wei)零的(de)时候所(suo)能(neng)达到的(de)真空(kong)度，必须高于工艺生产要求(qiu)的(de)真空(kong)度，至少(shao)要高一个数(shu)量级，真空(kong)度数(shu)值(zhi)(zhi)是表(biao)示(shi)出(chu)系(xi)统(tong)压(ya)(ya)强实际(ji)数(shu)值(zhi)(zhi)低于大气压(ya)(ya)强的(de)数(shu)值(zhi)(zhi)，从表(biao)上(shang)表(biao)示(shi)出(chu)来的(de)数(shu)值(zhi)(zhi)又称(cheng)(cheng)为(wei)(wei)表(biao)压(ya)(ya)强，业界也(ye)称(cheng)(cheng)为(wei)(wei)极(ji)限相对压(ya)(ya)强，并(bing)且设备适合在(zai)要求(qiu)的(de)工作真空(kong)度范围内(nei)工作。

例如：真空镀膜要(yao)求1×10-5 mmHg的(de)真空度，选用的(de)真空泵(beng)的(de)真空度至少要(yao)5×10-6 mmHg。

通常选择泵的(de)真(zhen)(zhen)空度要高于真(zhen)(zhen)空设备真(zhen)(zhen)空度半个(ge)到一个(ge)数量级。

5、极(ji)限绝(jue)对(dui)(dui)压强(qiang)(qiang)：绝(jue)对(dui)(dui)压强(qiang)(qiang)即所(suo)测内部压强(qiang)(qiang)比(bi)”理(li)论(lun)真(zhen)空(kong)(理(li)论(lun)真(zhen)空(kong)压强(qiang)(qiang)值为(wei)0Pa)”高多少压强(qiang)(qiang)。它所(suo)比(bi)较的对(dui)(dui)象为(wei)理(li)论(lun)状态的绝(jue)对(dui)(dui)真(zhen)空(kong)压强(qiang)(qiang)值。

真空(kong)泵所抽的真空(kong)值(zhi)比理论(lun)真空(kong)值(zhi)要高(gao)。所以当用绝对(dui)真空(kong)表(biao)示时，数值(zhi)前面无负号(hao)。

6、真空泵工作时产生的振动。

真空泵工(gong)作时产生的振(zhen)动(dong)对工(gong)艺过程及(ji)环境有(you)无(wu)(wu)影响，对于(yu)环境不允(yun)许(xu)时，可以选择无(wu)(wu)振(zhen)动(dong)的泵或者采取减震措(cuo)施。

7、准确地组合(he)真空泵。

由于真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)有选(xuan)择性抽气(qi)，因而(er)，有时选(xuan)用一种(zhong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)不(bu)能满足抽气(qi)要(yao)求，可以(yi)把多种(zhong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)组(zu)合成组(zu)合泵(beng)(beng)(beng)(beng)，互相补充达成抽气(qi)目的(de)。有的(de)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)不(bu)能在大气(qi)压下工作，需要(yao)预真(zhen)(zhen)空；有的(de)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)出口压强低于大气(qi)压，需要(yao)前(qian)级泵(beng)(beng)(beng)(beng)，正确地组(zu)合真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)。由于真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)有选(xuan)择性抽气(qi)互相补充才能满足抽气(qi)要(yao)求。

前(qian)(qian)级(ji)泵(beng)在主(zhu)泵(beng)出口(kou)处产生的(de)压(ya)力要比(bi)主(zhu)泵(beng)所排出的(de)最大排气压(ya)力低，前(qian)(qian)级(ji)泵(beng)应保证能够及(ji)时(shi)排出主(zhu)泵(beng)所排出的(de)气体(ti)，最后，兼作(zuo)预抽泵(beng)的(de)前(qian)(qian)级(ji)泵(beng)要满(man)足预抽时(shi)间和(he)预抽真空(kong)度的(de)要求。

8、所选真空(kong)泵的价钱、运行及维护费用。

真(zhen)空泵(beng)选型过(guo)程中，多种真(zhen)空泵(beng)能同时满(man)足工艺(yi)需求时，要(yao)进行成本和(he)运转费用(yong)的经济(ji)性分(fen)析，选用(yong)经济(ji)性好，运行可靠，维(wei)修量小(xiao)，使用(yong)与维(wei)修方便的真(zhen)空泵(beng)。

9、正确地选择(ze)真空泵(beng)的工作(zuo)点。

每种泵都有一定的工作压(ya)强范围，

例(li)如：扩散泵为10-3 ~10-7 mmHg，在这样宽压强(qiang)范(fan)围(wei)内，泵的(de)(de)抽速随压强(qiang)而 变化(hua)，其稳(wen)定(ding)的(de)(de)工作压强(qiang)范(fan)围(wei)为5×10-4~5×10-6 mmHg。

因而(er)(er)，泵(beng)的工(gong)(gong)作(zuo)点应该选在这个范围之内(nei)，而(er)(er)不能 让它在10-8mmHg下长(zhang)期(qi)工(gong)(gong)作(zuo)。又(you)如钛升华泵(beng)可以在10-2mmHg下工(gong)(gong)作(zuo)，但其工(gong)(gong)作(zuo)压强应小于1×10-5 mmHg为(wei)好。

10、真空(kong)设备(bei)对油(you)(you)污染的(de)要(yao)(yao)求。 若设备(bei)严格要(yao)(yao)求无油(you)(you)时(shi)，应该(gai)选各种无油(you)(you)泵(beng)，如：水环泵(beng)、分子筛(shai)吸附泵(beng)、溅射(she)离子泵(beng)、低温泵(beng)等(deng)。如果要(yao)(yao)求不(bu)严格，可以(yi)选择有油(you)(you)泵(beng)，加(jia)上一(yi)些(xie)防油(you)(you)污染措施，如加(jia)冷阱、障板、挡 油(you)(you)阱等(deng)，也能达到(dao)清洁真空(kong)要(yao)(yao)求。

11、了解被抽气体(ti)成分，气体(ti)中(zhong)含(han)不含(han)可(ke)凝蒸气，有(you)(you)无颗粒(li)(li)灰(hui)尘，有(you)(you)无腐(fu)蚀(shi)性等。 选择真空泵(beng)时(shi)，需要(yao)知道气体(ti)成分，针对被抽气体(ti)选择相(xiang)应(ying)的泵(beng)。如果气体(ti)中(zhong)含(han)有(you)(you)蒸气、颗粒(li)(li)、及腐(fu)蚀(shi)性气体(ti)，应(ying)该(gai)考(kao)虑在泵(beng)的进(jin)气口(kou)管路上(shang)安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。·

12、真(zhen)空泵排(pai)(pai)出来的(de)(de)油蒸(zheng)气对环境的(de)(de)影响如何。 如果环境不允许有污染，可以选无油真(zhen)空泵，或(huo)者(zhe)把油蒸(zheng)气排(pai)(pai)到室外。

13、真空泵(beng)工(gong)作时产生(sheng)的振(zhen)动对(dui)工(gong)艺(yi)过(guo)程及环境有无影(ying)响。若工(gong)艺(yi)过(guo)程不允许，应选(xuan)择无振(zhen)动的泵(beng)或者采取防振(zhen)动措(cuo)施。