清洁的真空环境(jing)一直是科学(xue)家(jia)和企业界追求的理想(xiang)真空环境(jing).自能够创造真空环境开始,人们就(jiu)试图(tu)采用不(bu)同手段达到清(qing)洁真空(kong)的效果.时至(zhi)今日,清洁(jie)真(zhen)空获(huo)得(de)设备已(yi)经发展(zhan)到油泵、螺杆泵、活塞泵(beng)(beng)、爪式泵(beng)(beng)、涡旋泵(beng)(beng)以及隔膜(mo)泵(beng)(beng)等多种产品.在现有的无(wu)油(you)真(zhen)空(kong)泵当中,无(wu)油(you)涡(wo)旋真空泵与(yu)其他种(zhong)类(lei)的无(wu)油(you)真空泵相比具有(you)下述(shu)特点:

  ①.无(wu)油(you)，无(wu)摩擦——真(zhen)空腔内无(wu)油(you)，非接触，无(wu)磨(mo)损，不产生微粒(li)尘埃污染，可(ke)获得清洁真(zhen)空；

  ②.抽(chou)气(qi)量大——双涡旋盘，结构与单(dan)级相比(bi)相同直径泵(beng)抽(chou)气(qi)容(rong)积为2倍，节(jie)省能源(yuan)；

  ③.抽气效率高——带(dai)有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低；

  ④.非接触,良(liang)好平衡(heng),力矩影响(xiang)小，噪音低，振(zhen)动小；

  ⑤.结构简单紧凑(cou)，相(xiang)同(tong)尺寸下，运动(dong)半径小，运行平稳(wen)；

  ⑥.体积小(xiao)，维修方便，维护费用低；

  ⑦.采(cai)用空气冷却，无需水(shui)冷。

  目前无油涡旋真空(kong)泵的应用领域为(wei):

  ①.半导(dao)体(ti)(ti)行业——薄膜制备(bei)设(she)备(bei)、半导(dao)体(ti)(ti)器件封装设(she)备(bei)；

  ②.科学仪(yi)器行(xing)业——同步辐射光束(shu)线、电子(zi)显微(wei)镜、分析(xi)测(ce)试仪(yi)器；

  ③.机(ji)械设备行业——材(cai)料制备设备、真(zhen)空检(jian)测、材(cai)料提纯设备；

  ④.化学工业；

  ⑤．医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制(zhi)(zhi)品与(yu)药品制(zhi)(zhi)备；

  ⑥．包装(zhuang)行业——食品、药(yao)品、生物制品等包装(zhuang)设备。