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干式真空泵较为明显的(de)(de)(de)(de)才能(neng)就(jiu)是不(bu)(bu)用水来做介质,与传(chuan)统的(de)(de)(de)(de)真空设备(bei)相比,它能(neng)够有效(xiao)的(de)(de)(de)(de)节约(yue)水资源,减(jian)少企(qi)业(ye)的(de)(de)(de)(de)能(neng)源耗费(fei),真正使(shi)企(qi)业(ye)的(de)(de)(de)(de)消(xiao)费(fei)愈加的(de)(de)(de)(de)环保,并且(qie)能(neng)够提(ti)升企(qi)业(ye)消(xiao)费(fei)开展的(de)(de)(de)(de)才能(neng)。同时,在(zai)不(bu)(bu)时开展的(de)(de)(de)(de)优势实力下,干泵(beng)的(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)曾经充沛(pei)表现出其本身(shen)的(de)(de)(de)(de)优势,要(yao)加大对产品应用开发(fa)才能(neng)的(de)(de)(de)(de)重要(yao)性(xing),针(zhen)对企(qi)业(ye)消(xiao)费(fei)的(de)(de)(de)(de)需求,加大对技术优势才能(neng)的(de)(de)(de)(de)不(bu)(bu)时带动,进步产品消(xiao)费(fei)才能(neng)的(de)(de)(de)(de)有效(xiao)展示(shi)。
以干式(shi)真(zhen)空泵的(de)(de)(de)整体程(cheng)度,加(jia)快产品消费的(de)(de)(de)才能(neng),加(jia)强(qiang)其各方面应用实力的(de)(de)(de)表现,依据国内的(de)(de)(de)行业(ye)状况,加(jia)大对(dui)产品开(kai)发(fa)的(de)(de)(de)投入,积(ji)极(ji)学习各方面先进(jin)的(de)(de)(de)技术(shu),加(jia)强(qiang)自我开(kai)发(fa)的(de)(de)(de)才能(neng),从而表现出干泵的(de)(de)(de)性(xing)能(neng)。
如今能够看到干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有特性和优缺陷。不断以来会影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户认识到也应该将真空泵运转的稳定性思索进去。由于真空泵的不测出错会引起机器的运用效率降低,影响到晶圆的消费和交货期,以至形成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及组合式相比,其在零件的运用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和未来的维修本钱上有很大的优势。
关于这些不(bu)同类型的(de)(de)(de)干式真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng),我们都盼望可以将其物理尺寸减小。但(dan)(dan)这与真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)气速(su)率(lv)(lv)相矛盾,由于真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)气速(su)率(lv)(lv)与真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)容(rong)积成正比(bi),物理尺寸小意味(wei)着(zhe)容(rong)积也小。当然,还有一个影响真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)气速(su)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)要(yao)素,那就是(shi)(shi)转速(su)。为了(le)让小尺寸的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)气速(su)率(lv)(lv)与大(da)尺寸真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)抽(chou)(chou)气速(su)率(lv)(lv)相匹配(pei),就需求进步它(ta)的(de)(de)(de)转速(su)。而(er)想要(yao)改动真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)转速(su)有两种办法,一是(shi)(shi)改动电源的(de)(de)(de)频率(lv)(lv),即采用(yong)变频器(qi);二是(shi)(shi)改动齿(chi)(chi)轮(lun)箱的(de)(de)(de)传(chuan)动比(bi)。其中(zhong),采用(yong)变频器(qi)的(de)(de)(de)益处是(shi)(shi)能够提供一个闭环控制,但(dan)(dan)在大(da)负载下容(rong)易惹起扭距的(de)(de)(de)损失(shi)。而(er)改动齿(chi)(chi)轮(lun)箱的(de)(de)(de)传(chuan)动比(bi)是(shi)(shi)一种十(shi)分经济的(de)(de)(de)办法,当然,它(ta)只能提供不(bu)可控的(de)(de)(de)单一转速(su)。