干(gan)式真(zhen)空泵(beng)(beng)使工作容(rong)积(ji)中无油(you)，因而带来了不(bu)少(shao)好处。首先，它(ta)加强了泵(beng)(beng)的(de)(de)牢靠性(xing)。干(gan)式泵(beng)(beng)不(bu)像(xiang)油(you)密封泵(beng)(beng)那(nei)样遭(zao)到水蒸气或者尘粒的(de)(de)影响，因而它(ta)们更(geng)耐(nai)用，所需的(de)(de)维(wei)护工作更(geng)少(shao)。减(jian)少(shao)用油(you)量(liang)还(hai)意味着减(jian)少(shao)了认真(zhen)处置油(you)而破费的(de)(de)本钱。运用干(gan)式真(zhen)空泵(beng)(beng)还(hai)使可能的(de)(de)污(wu)(wu)染(ran)减(jian)到较小水平，这(zhei)种污(wu)(wu)染(ran)既可能呈现(xian)在(zai)油(you)里(li)——影响了泵(beng)(beng)的(de)(de)性(xing)能，也可能呈现(xian)在(zai)某(mou)些极端(duan)的(de)(de)状况(kuang)下 

　　目前，真空行业(ye)运用的(de)(de)大多数干式(shi)真空泵都是用油(you)、水或其(qi)(qi)它聚合物等(deng)流(liu)(liu)体(ti)充任泵的(de)(de)工作(zuo)(zuo)介质(zhi)，在(zai)泵内起冷却、密封(feng)、光滑等(deng)多种(zhong)(zhong)作(zuo)(zuo)用。随着科学技(ji)术的(de)(de)开(kai)展以及真空应用范畴的(de)(de)扩展，原(yuan)有的(de)(de)干式(shi)真空泵及其(qi)(qi)组成的(de)(de)抽(chou)气系统呈现了两个急需处理问题(ti)：一是泵的(de)(de)工作(zuo)(zuo)介质(zhi)返流(liu)(liu)污染被(bei)抽(chou)容器，而这种(zhong)(zhong)返流(liu)(liu)在(zai)许多状况下影响产品的(de)(de)质(zhi)量(liang)、数量(liang)，增加设备的(de)(de)维护本钱。其(qi)(qi)次，由于(yu)某些工艺过程(cheng)中的(de)(de)反(fan)响物质(zhi)使(shi)真空泵内的(de)(de)介质(zhi)严重蜕(tui)变，使(shi)泵不(bu)能正常工作(zuo)(zuo)。

　　关(guan)于普通的无油真(zhen)空(kong)系(xi)统来说，固然可用油封式真(zhen)空(kong)泵加上冷阱或吸(xi)附(fu)阱之(zhi)类附(fu)件来避(bi)免返流(liu)，但不能(neng)彻底(di)处理(li)(li)问题，而且(qie)使系(xi)统显得复杂。而运用恰当(dang)型(xing)式的干式真(zhen)空(kong)泵，则能(neng)够到达理(li)(li)想(xiang)的运用效果。

　　干式(shi)真空泵的(de)应用是普(pu)遍的(de)，主(zhu)要有以下几(ji)个方面：

　　1)低压化学(xue)气相堆积中的多晶硅制备工(gong)艺(yi)中；

　　2)半导体刻蚀工艺。在这些消费工艺中常常用到(dao)或(huo)生(sheng)成腐蚀性(xing)气体和研磨微粒；

　　3)除半导体工(gong)艺外的(de)(de)某些产生微(wei)粒(li)的(de)(de)工(gong)艺，不希望微(wei)粒(li)混入(ru)泵(beng)油中，而希望微(wei)粒(li)排出泵(beng)外，则用一定(ding)型(xing)式(shi)的(de)(de)干式(shi)机械真空泵(beng)能够满足请求；

　　4)用做普(pu)通无油(you)清洁真空系(xi)统的前(qian)级(ji)泵，以(yi)避免油(you)污染；

　　5)在化学工业、医药工业、食　品工业中(zhong)的蒸(zheng)馏、枯(ku)燥、脱泡、包装(zhuang)等，要避免有机溶(rong)剂形成污染，合适用干式真(zhen)空泵。